低溫制冷循環(huán)器使用范圍：對半導體制造裝置發(fā)熱部的冷卻：單晶片洗凈轉(zhuǎn)載、印刷機、自動夾座安裝裝置、噴涂裝置、離子鍍裝置、蝕刻裝置、單晶片處理裝置、切片機、包裝機、顯影劑的溫度管理、露光裝置、生磁部分的加熱裝置等。對激光裝置發(fā)熱部分的冷卻：激光加工、熔接機的發(fā)熱部分、激光標志裝置、發(fā)生裝置、二氧化碳激光加工機等。

產(chǎn)品概況：

1、導熱液體溫度可調(diào)節(jié)

2、采用阿斯帕拉、丹弗斯、美優(yōu)樂、谷輪等品牌壓縮機，性能穩(wěn)定，可持續(xù)工作

3、人性化設(shè)計，靈活更方便

4、微電腦溫度控制器，溫度數(shù)字顯示，調(diào)節(jié)單位0.1度，溫度范圍5度~35度可調(diào)

5、采用熱氣旁通，節(jié)約能源，提高控制精度

6、多種故障報警（超溫報警、傳感器報警、高壓報警、壓縮機過熱報警）

7、開機延時保護

8、所有部件均安全接地

9、高性能循環(huán)泵，可保證每天連續(xù)24小時運行

低溫制冷循環(huán)器技術(shù)參數(shù)